名稱：

PECVD電漿化學蒸鍍系統

廠牌：

和立

放置地點：

T2-105

負責老師：

洪儒生

負責技術員：

林士鈞

購置年月：

90.09.14

購置金額：

$2,150,000

儀器狀況：

正常

儀器簡介：

Introduction

本系(A)：

$500  元/半天

校內外系(B)：

$1000 元/半天

校外(C)：

$2000 元/半天

申請單：

Application  Introduction